汇成真空(301392)投资者提问：汇成真空的TGV专用HiPIMS深孔溅射设备专门针对玻璃微孔...
发布时间： 2026年06月17日
作者：张庭
栏目：董秘问答
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[提问] 投资者提问
2026-06-16 01:33:10
汇成真空的TGV专用HiPIMS深孔溅射设备专门针对玻璃微孔高深径比金属化，高功率脉冲HiPIMS路线，适配50–300μm超薄玻璃，深径比稳定15:1，孔内壁镀膜均匀性±3%，适配 G1-G5大尺寸玻璃基板，HBM玻璃中间层，CPO光模块;是国内唯一能够供货TGV深孔镀膜的公司。请问老师，上述对贵司TGV高端镀膜设备有没有客观描述，公司有这类设备出售或者订单需求？
汇成真空（301392）
[回复] 董秘回复
2026-06-17 09:08:59
尊敬的投资者，您好。公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术，射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合，自动升降传输基材，支持多个阴极同时溅射，镀制多层膜，自动处理工艺并记录数据，有关经营情况可关注公司定期报告，感谢您的提问。
汇成真空（301392）