中微公司评级2021年年报点评：ICP设备加速放量，MOCVD爆发增长

股票代码 ：688012
股票简称 ：中微公司
报告名称 ：2021年年报点评：ICP设备加速放量，MOCVD爆发增长
评级 ：买入
行业：半导体

ICP 设备加速放量，MOCVD 爆发增长

GaN 功率器件量产的 MOCVD设备，目前已交付客户进行生产验证。此外，公

元，未来三年归母净利润复合增速有望达 36.2% 。中微公司为国内刻蚀设备行 业领军，刻蚀设备在国内市场份额稳步提升。基于以上考虑，我们给予公司 2022 年 92 倍 PE，对应市值 972.3 亿元，对应目标价 157.8 元，首次覆盖给予“买

入”评级。

风险提示：下游客户扩产不及预期、新产品研发不及预期、国际贸易摩擦加剧。

数据来源：Wind，西南证券

中 微公司（688012） 2021 年 年报点评

1 刻蚀设备全球领先，MOCVD 实现国产替代

中微公司于 2004 年在上海成立，前身为中微有限，2019 年成功登陆科创板。公司主要 从事高端半导体的研发、生产和销售，核心产品包括：1）用于集成电路领域的等离子体刻 蚀设备（CCP、ICP）、深硅刻蚀设备（TSV）；2）用于 LED 芯片领域的 MOCVD 设备。公 司以两大业务为核心，逐步开发后道先进封装、MEMS、LED、Mini LED、Micro LED 等泛

半导体设备产品，不断拓展外延，逐步成为泛半导体设备平台型企业。

刻蚀设备积累深厚，MOCVD 前景广阔。公司主要专注于等离子刻蚀设备和 MOCVD 设 备，产品包括电容性等离子体刻蚀设备（CCP）和电感性等离子体刻蚀设备（ICP），等离子 体刻蚀设备已在国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米的集成电路加工制造及 先进封装中有具体应用；MOCVD 设备主要应用在 LED 外延片的制造过程中，已在行业领 先客户的生产线上大规模投入量产。凭借 MOCVD 在下游客户中的广泛应用，公司已成为世 界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基 LED 设备供应商。MOCVD 设备市场有广阔的增 长空间，下游应用包括红黄光 LED、紫外光 LED、功率器件和 Mini LED、Micro LED 等。

表 1：公司主要产品及应用领域

数据来源：Wind，西南证券整理

深耕市场多年，技术革新铸就设备龙头。回顾发展历史，公司成长历程大致可以分为三

大阶段：

2004-2011 年：技术起步期。2004 年，尹志尧联合其他核心技术人员在上海创办

中微公司，吸引了来自世界各地的半导体专家，成立了研发团队。在此期间，中微

公司刻蚀设备获得较大进展，CCP 刻蚀设备、TSV/MEMS/Dicing 刻蚀设备产品均 研制成功并运往客户，刻蚀设备制程节点快速突破至 45nm。

2012-2017 年：巩固发展期。 2012 年，首台 MOCVD 设备研制成功并运往客户，

公司的半导体设备产品线逐渐补充并实现规模化销售。同时，刻蚀设备也在加快技

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术革新，到 2017 年刻蚀设备已进入国际先进 7nm 生产线。公司已经形成刻蚀设备 和 MOCVD 设备并重的收入结构。

2018 年至今：加速发展期。截止 2018 年末，中微公司已累计有 1100 多个反应台 服务于国内外 40 余条先进芯片生产线。公司的等离子体刻蚀设备已应用于国际先 进的 14nm、7nm 和 5nm 生产线。公司开发的大型 MOCVD 设备逐步替代进口设 备，在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场占据领先地位。2019 年，公司登陆科

创版上市，借助资本开始加速产能建设与扩产，步入新一轮高速发展期。

图 1：公司发展史

数据来源：公司公告，西南证券整理

股权结构分散，无实际控制人。公司股权结构较为分散，各股东持股比例均未超过 20%。公司现第一大股东为上海创业投资，持有公司 15.64%股权。上海创投实际控制人为上海市 国资委。巽鑫(上海)投资有限公司为第二大股东，持股 15.15%。两者持股比例接近，无实际

控制人。第三大股东嘉兴智微（原南昌智微）和第四大股东中微亚洲均为员工持股平台。

图 2：公司股权结构

上海市国资委

100%

中微公司

数据来源：公司公告，西南证券整理

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股权激励提高人才粘性，全员持股团队稳定。公司实行全员持股制度，持续加强人才激

励。2020 年，公司实行了限制性股票计划和股票增值权计划，其中限制性股票激励计划授 予对象共 700 人，占公司职工人数的 91.9%，合计拟授予 800 万股限制性股票，占当时股 本的 1.49%。2022 年 3 月，公司公布 2022 年限制性股票激励计划（草案），拟授予激励对 象 1104 人，占公司职工人数的 99.4%。该计划拟向激励对象授予 400 万股限制性股票，占 草案公告时公司股本的 0.65%。长效激励机制可以吸引和留住优秀人才，充分调动员工的积

极性，有利于公司的长远发展。

公司的主营业务包括：销售专用设备、备品备件及设备维护。其中，专用设备主要包括

刻蚀设备和 MOCVD 设备。

从营收结构来看，2021 年销售专用设备实现收入 25.1 亿元，同比增长 39.4%，占主营 收入比重为 80.7%，贡献公司主要营收。其中，刻蚀设备收入为 20.0 亿元，同比大幅提升 55.4%；MOCVD 设备收入为 5.0 亿元，同比增长 1.5%，主要系下游市场及本年新签署的 Mini LED MOCVD 设备规模订单尚未确认收入所致。备品备件实现营业收入 5.6 亿元，同比 增长 27.3%，占主营收入比重为 17.9%。

从毛利结构来看， 2021 年，公司主要业务中，销售专用设备毛利率为 42.2%，毛利占 比 78.5%。其中，刻蚀设备毛利率为 44.3%；MOCVD 设备毛利率为 33.8%，较 2020 年的 18.7%有大幅提升。备品备件业务毛利率为 46.9%，毛利占比为 19.3%。

图 3：公司 2021 年主营业务结构

销售专用设备
81%

数据来源：Wind，西南证券整理

图 4：公司 2021 年主营业务毛利占比

79%

数据来源：Wind，西南证券整理

高景气带动营收稳定增长，利润空间不断释放。 2017-2021 年，公司营业收入由 9.7 亿 元增至 31.1 亿元，年复合增长率为 33.7%，五年间保持高增速。其中，2021 年公司营业收 入达到 31.1 亿元，同比增长 36.7%。受益于半导体设备高景气，下游晶圆制造厂持续扩产 带动，半导体设备需求快速爆发进而推动公司营收稳定增长。从利润端来看，2021 年公司 归母净利润为 10.1 亿元，同比大幅增长 105.5%，近五年复合增长率为 141.1%，保持高速

上行态势。

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利润率持续增长，费用率较为稳定。1）利润率方面：2017-2021 年公司毛利率在 34.9% 至 43.4%间波动，2021 年公司毛利率为 43.4%，较去年同期上升 5.7pp；同期间，公司净利 率保持快速增长，2021 年净利率为 32.5%，较去年同期上升 10.9pp。

2）费用率方面：2017-2021 年，公司销售费用率从 16.7%下降至 9.5%。同期间，公司 管理费用率较为稳定，在 5.6%至 8.7%区间波动；2021 年公司研发费用率为 12.8%，较去 年同期下降 1.8pp。2017-2021 年，公司研发费用率继续保持高位，近五年复合增长率达到 21.9%，表明公司高度重视技术研发，不断加大技术投入提升技术优势。

图 7：公司 2017-2021 年毛利率和净利率

数据来源：Wind，西南证券整理

图 8：公司 2017-2021 年费用率

数据来源：Wind，西南证券整理

经营性现金流大幅提升，净现比高位震荡。 1）经营活动现金流： 2017-2021 年，公司 经营活动现金流净额总体呈上升态势，2021 年公司经营活动现金流持续增长，净额为 10.2 亿元，较去年同期增长 20.1%，主要原因是受行业需求爆发影响，公司收入和新签订单大幅 度增加，导致销售收款增加。2）净现比：2017-2021 年，公司净现比整体呈震荡趋势，18 年以后公司净现比在 1 附近波动，2021 年公司净现比为 0.9，整体盈利质量较好。我们预计

随后续工艺突破、客户导入并且粘性形成后，公司净现比指标将进一步提升。

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图 9：公司 2017-2021 年经营活动现金流情况

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数据来源：Wind，西南证券

2.2 相对估值

我们选取了行业中与中微公司业务模式相近的两家公司，2022 年两家公司的平均 PE 为 95 倍。中微公司未来最大的看点有两个：1）公司为国内刻蚀设备行业领军，CCP 设备下游 市占率持续提升，ICP 设备随客户验证加速有望迎来放量；2）公司积极布局 MOCVD 设备，未来有望随 Mini LED 与 GaN 市场快速增长带动下游需求市场爆发，成长空间巨大。

基于以上考虑，我们给予公司 2022 年 92 倍 PE，对应市值 972.3 亿元，对应目标价 157.8

元，首次覆盖给予“买入”评级。

表 3：可比公司估值

数据来源：Wind，西南证券整理（数据截至 2022.3.31 收盘）

3 风险提示

下游客户扩产不及预期、新产品研发不及预期、国际贸易摩擦加剧

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附表：财务预测与估值

数据来源：Wind，西南证券

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分析师承诺

本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并注册为证券分析师，报告所采用的数据均 来自合法合规渠道，分析逻辑基于分析师的职业理解，通过合理判断得出结论，独立、客观地出具本报告。分析师承 诺不曾因，不因，也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接获取任何形式的补偿。

投资评级说明

买入：未来 6 个月内，个股相对沪深 300 指数涨幅在 20%以上
持有：未来 6 个月内，个股相对沪深 300 指数涨幅介于 10%与 20%之间

公 司 评 级 中性：未来 6 个月内，个股相对沪深 300 指数涨幅介于-10%与 10%之间 回避：未来 6 个月内，个股相对沪深 300 指数涨幅介于-20%与-10%之间 卖出：未来 6 个月内，个股相对沪深 300 指数涨幅在-20%以下

强于大市：未来 6 个月内，行业整体回报高于沪深 300 指数 5%以上

行 业 评 级 跟随大市：未来 6 个月内，行业整体回报介于沪深 300 指数-5%与 5%之间 弱于大市：未来 6 个月内，行业整体回报低于沪深 300 指数-5%以下

重要声明

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