评级（）机械设备行业周报：半导体硅片生长与加工设备国产化2022年提速，受疫情和原材料价格影响中游制造板块承压

股票代码 ：
股票简称 ：
报告名称 ：机械设备行业周报：半导体硅片生长与加工设备国产化2022年提速，受疫情和原材料价格影响中游制造板块承压
评级 ：增持
行业：

机械设备 | 证券研究报告—行业周报

强于大市

相关研究报告

《拓荆科技 Q1 存货、合同负债环比大幅增 长，盛美 18 腔 max800 片/h 的单片清洗设备投 入量产，迈为股份单季度毛利率攀升至 40%以 上》20220424
《浸润于技术与产业合作的迈为股份再获 4.8GW 异质结整线订单，上海地区有序复工利 于半导体板块反弹》20220418
《新能源装备订单充足且估值优势明显，光伏 异质结产业链分工合作将带动多环节突破》20220411
《“十四五”现代能源体系规划出台，能源结 构转型助力新能源设备长期向好》20220327 《异质结跨入转换效率 26%时代，重点关注光 伏设备、风电设备、半导体设备》20220321 《需求旺盛+国产化加速，半导体设备业绩开 门红》20220315
《政府工作报告要求增强制造业核心竞争 力，重点关注半导体设备、新能源装备、专精 特新企业》20220307
《新型储能发展实施方案下发，建议关注储能 设备及受其发展带动的新能源设备板块》20220220
《盛美上海超预期获多类批量大订单，半导体 设备国产化提速》20220220
《持续看好增长确定、成长空间大的半导体、风电、锂电设备赛道》20220213
《1 月风电招标量高增超预期，海外动力电池 厂商进入产能扩张期》20220207
《半导体设备龙头迎来利润大拐点，LG 新能 源、SKI 等海外动力电池厂商扩产带来设备新 需求》20220124

中银国际证券股份有限公司 具备证券投资咨询业务资格

机械设备

证券分析师：杨绍辉
(8621)20328569
shaohui.yang@bocichina.com
证券投资咨询业务证书编号：S1300514080001

证券分析师：陶波
(8621)20328512
bo.tao@bocichina.com
证券投资咨询业务证书编号：S1300520060002

2022 年 5 月 3 日

机械设备行业周报

半导体硅片生长与加工设备国产化 2022年提速，受疫情和

原材料价格影响中游制造板块承压

上周，机械设备指数下跌 2.84%，沪深 300 指数上涨 0.07%%，创业板指上涨 0.98%。机械设备在全部 28 个行业中涨跌幅排名第 19 位。

本周观点

半导体设备：华海清科 IPO 注册获批，万业企业半导体设备经营显著放量。

（1）据证监会公告，国产 CMP 领军企业华海清科已获得 IPO 注册同意批 复，其主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。

（2）据万业企业公布 21 年业绩，其集成电路设备收入 1.23 亿元，同比增 长 465%（接近 5 倍），表明其在集成电路领域的布局取得显著成效。（3）晶盛机电推出半导体硅片长晶炉、抛光、滚磨等大部分专业设备，可覆盖 8 英寸、12 英寸硅片产线，计划 2022 年新接订单含税 30 亿元，而 2020/2021 年底在手订单依次是 3.9/10.7 亿元。

重点推荐拓荆科技、芯源微、中微公司、盛美上海、北方华创、精测电子、华峰测控、万业企业、长川科技、晶盛机电、神工股份、江丰电子。

光伏设备：22Q1 太阳能发电装机增长近 1.5 倍，占总新增发电装机超 4 成；高测股份营收/盈利超预期增长。根据国家能源局发布，2022 年一季度新增 太阳能发电装机达到 13.21GW，同比增长 148%，占 22Q1 全部新增发电装机 容量的 42%。据高测股份发布业绩，21 年实现营收 15.7 亿元，同比增长 110%；净利润 1.7 亿元，同比增长 193%；扣非 1.7 亿元，同比增长 303%，业绩大超 预期。同时，其切割设备收入 9.8 亿元，同比增长 74%，占比 63%；金刚线 营收 2.9 亿元，同比增长 37%，占比 19%。在维持切割设备和耗材的高速增 长的同时，公司持续开拓切片代工业务并首次实现 1.1 亿元收入，积极布局 业绩新增长点。推荐迈为股份，建议关注奥特维、高测股份、英杰电气、帝 尔激光。

风电设备：4 月风机招标量大爆发，单月容量超一季度总量。根据风电之音 的不完全统计，截至 4 月 29 日，4 月单月国有企业开发商共发布风机电机组 设备采购招标容量达 15.31GW，超过一季度国企招标的总量 15.10GW。其中，4 月海上风电招标容量为 1.74GW，占总招标容量的 11%。据北极星风力发电 网不完全统计，“十四五”期间，全国海上风电规划总装机量超 100GW，伴随 着海上风机价格不断下探及施工成本低逐步降低，预计海上风电在“十四五”阶段将迎来爆发式增长，关注未来海上风电项目招标进度。推荐恒润股份、海力风电，建议关注大金重工、东方电缆。

锂电设备：四大百亿动力电池项目签约动工，动力电池厂商仍积极扩产，建 议关注设备厂商订单交付情况。据起点锂电大数据的报道，近日宁比亚迪、亿纬锂能、中创新航、远景动力四家头部电池厂商产能释放的步伐悄然加快，其中比亚迪武汉锂离子电池项目总投资 100 亿元，年产能达 30GWh；中创新 航江门基地总投资 200 亿元，年产能 50GWh；亿纬锂能成都基地总投资 200 亿元，年产能 50GWh；远景动力十堰基地总投资 120 亿元，年产能 50GWh。我们根据各公司官网及各公司公告的信息统计，国内主流厂商至 2025 年产 能有望超过 2TWh，其中 CATL 规划产能超 700GWh，比亚迪规划产能超 400GWh，蜂巢能源规划产能达到 600GWh，中创新航规划产达到 500GWh，亿 纬锂能规划产能约 300GWh。在电池厂商产能陆续落地的大背景下，建议重 点关注锂电设备厂商订单交付情况。推荐先导智能、杭可科技、先惠技术。

推荐组合

推荐组合：拓荆科技、盛美上海、中微公司、精测电子、北方华创、芯源微、华峰测控、万业企业、长川科技、恒润股份、海力风电、迈为股份、先导智 能、杭可科技、先惠技术、东威科技、神工股份、江丰电子、晶盛机电

建议关注标的：中联重科、三一重工、恒立液压、浙江鼎力、建设机械、柳 工、大金重工、东方电缆、奥特维、高测股份、英杰电气

风险提示

风险提示：疫情影响超预期；政策不达预期；半导体设备国产化进程放缓、美国进一步向中国禁售关键半导体设备。

目录

板块行情回顾 ...................................................................................... 4

一周行情复盘 ............................................................................................................................ 4 机械相关新股情况..................................................................................................................... 5

细分行业数据跟踪 ............................................................................... 6

半导体设备 ............................................................................................................................... 6 风电设备 ................................................................................................................................... 7 锂电设备 ................................................................................................................................... 8 光伏设备 ................................................................................................................................... 9 工程机械 ................................................................................................................................. 11

一周信息汇总 .................................................................................... 12

半导体设备 ............................................................................................................................. 12 风电设备 ................................................................................................................................. 12 锂电设备 ................................................................................................................................. 13 光伏设备 ................................................................................................................................. 13

风险提示 ............................................................................................ 15

图表目录

图表 1. 各版块指数上周涨跌幅情况 ..................................................................................... 4 图表 2. 重点推荐组合涨跌幅情况 .......................................................................................... 4 图表 3.近两个月内机械行业相关新股情况 ......................................................................... 5 图表 4.费城半导体指数 ............................................................................................................ 6 图表 5.北美半导体设备出货额（百万美元） ..................................................................... 6 图表 6. 国内主要 12 英寸晶圆产线的工艺设备国产化率情况 ........................................ 6 图表 7.风电新增装机量情况 .................................................................................................... 7 图表 8. 风电发电量情况 ........................................................................................................... 7 图表 9.风机公开招标市场均价（元/KW） ........................................................................... 7 图表 10.风电公开招标市场容量（GW） .............................................................................. 7 图表 11 我国新能源汽车月度销量（辆） ............................................................................ 8 图表 12.新能源车销量渗透率不断提高 ................................................................................ 8 图表 13.国内动力电池装机量（GWh） ................................................................................. 8 图表 14.国内各企业动力电池 2021 年装机量（GWh） ..................................................... 8 图表 15. 光伏月度新增装机容量 ............................................................................................ 9 图表 16. HJT 项目规划产能统计 ........................................................................................... 10 图表 17.挖掘机月销量情况（台） ....................................................................................... 11 图表 18.挖掘机年销量情况（台） ....................................................................................... 11

板块行情回顾

一周行情复盘

上周，机械设备指数下跌 2.84%，沪深 300 指数上涨 0.07%%，创业板指上涨 0.98%。机械设备在全部 28 个行业中涨跌幅排名第 19 位。

图表 1. 各版块指数上周涨跌幅情况

机械相关新股情况
图表 3.近两个月内机械行业相关新股情况

资料来源：万得，中银证券

细分行业数据跟踪

半导体设备

费城半导体指数 4 月 29 日为 2919.7，近期相比高点有所回落，但仍处于高位，彰显半导体产业的高 景气度；2021 年 12 月，北美半导体销售额 39.17 亿美元，同比增加 46.1%。

据国内主流 12 英寸产线的半导体工艺设备招投标数据统计，在 12 类主要半导体设备中，国产化程 度最高的去胶设备国产化率为超过 80%，CMP、清洗、热处理、刻蚀、PVD 等设备的国产化率接近或 超过 20%。镀铜、CVD、量测、离子注入、光刻、涂胶显影等设备的国产化程度仍处于较低水平。

图表 6. 国内主要 12 英寸晶圆产线的工艺设备国产化率情况

风电设备

风电装机方面，根据国家能源局的统计，2022 年 1-3 全国新增风电装机 7.90GW，同比上涨 50.48%。

风电发电量方面，根据国家统计局，2022 年 1-3 月全国风电发电量 1,627.4 亿千瓦时，同比增长 16.19% ，

占全国发电量的比例为 8.17%。

从风机招标价格来看，从 2020 年开始风机价格持续走低，至 2021 年底稍微有所回升，以 3MW 机型

为例，2021 年 9 月份月度公开招标价格平均 2410 元/KW，较 20 年同期下降 25.8%，2021 年 12 月份回

升至 2798 元/KW。

从全国范围的风机公开招标量来看，由于风机价格下降，下游运营投资收益率凸显，2022 年 1-3 月招

标量达到 24.7GW，同比增长 74%。按市场分类，陆上新增招标容量 19.3GW，海上新增招标容量 5.4GW。

锂电设备
新能源汽车销量：据中汽协统计，2022 年 3 月全国新能源车销量 48.4 万辆，同比增长 114.1%，渗透

率达到 21.67%，再创新高；2022 年全年累计销量 125.7 万辆，同比增长 138.6%，渗透率达到 19.31%。

动力电池装机量：2022 年 3 月国内动力电池装机量 21.4GWh，同比增长 138.0%，环比上升 56.6%，呈

现快速增长趋势。按动力电池厂商来看，3 月宁德时代（10.81GWh）、比亚迪（4.12GWh）和中创新

航（1.84GWh）的装车量排名前三。

光伏设备
国内需求：据中电联统计，2022 年 1-2 月光伏新增装机容量 10.86GW，同比上涨 234.15%，国内光伏 需求持续旺盛。

图表 15. 光伏月度新增装机容量

2,500
2,000
1,500
1,000
500
0

光伏新增装机（万千瓦时）

资料来源：中电联，中银证券

多家公司布局 HJT，产能规划超过 140GW。2020 年开始出现 GW 级布局，2021 年开启第一轮 HJT 产线 热。布局异质结的企业中，以新进入者居多，经过公开信息的不完全统计，产能规划超过 140GW。

图表 16. HJT 项目规划产能统计

资料来源：各公司公告，各公司官网，中银证券

工程机械
根据中国工程机械工业协会统计数据，3 月纳入统计的 26 家主机制造企业共计销售挖掘机 37,085 台，同比下降 53.1%；其中国内 26,556 台，同比下降 63.6%；出口 10529 台，同比增长 73.5%。2022 年 1-3 月，共销售挖掘机 77,175 台，同比下降 39.2%；其中国内 51,886 台，同比下降 54.3%；出口 25,289 台，同比增长 88.6%。

一周信息汇总

半导体设备

【盛美上海】18 腔 300mm Ultra C VI 单晶圆清洗设备投入量产

4 月 22 日，盛美半导体设备（上海）股份有限公司宣布，其 18 腔 300mm Ultra C VI 单晶圆清洗设备已 成功投入量产。该设备于 2020 年第二季度首次推出，目前已在中国一家主流存储芯片制造商的生产 线上获得验证并进入量产。

据盛美上海董事长王晖博士介绍：“随着技术节点逐渐缩小，芯片复杂性不断增加，湿法清洗工艺所 需的步骤也在增长。当前对于半导体芯片的需求空前巨大，相应的产能需求也随之提高，而我们的 18 腔设备恰好能够满足这一需求的增长。采用 Ultra C VI 设备进行量产，在设备尺寸相同的情况下可 提升 50%的产能，以更好地满足客户需求。”

（资料来源：盛美上海微信公众号）

【三星】未来投资有望达 2606 亿，三星 P3 晶圆厂 5 月装机

据韩国媒体《The ELEC》报道，三星位于平泽市的 P3 晶圆厂将于 5 月开始安装设备，并持续到 7 月，较原计划时程提前一个月，预计下半年建设完成。

三星平泽市 P3 晶圆厂于 2020 年开始建设，占地 70 万平方米，将成为全球最大晶圆厂厂区，是三星 P2晶圆厂 1.7倍。三星计划未来几年内对 P3晶圆厂的投资将达 30万亿-50万亿韩元（约合人民币 1563.6 亿元-2606 亿元）。据悉，三星平泽市 P3 晶圆厂既生产存储器又生产逻辑芯片。不过将率先生产 NAND Flash 快闪存储器，之后开始生产 DRAM，最后是 3 纳米制程晶圆制造与代工产线。此外，平泽晶圆 厂将大量采用极紫外曝光设备 (EUV) 生产，报道提到，这一工厂的 NAND 闪存生产线，将采用极紫外 光刻机生产第 7 代 176 层 V-NAND 闪存，而为其他厂商代工晶圆的 3nm 工艺，也需要极紫外光刻机。

根据此前的资料，该工厂建设总投资额达 86 亿美元（约合人民币 550.8 亿元），工艺制程除了 22/28 纳米外，还提供 12/16 纳米鳍式场效制程的专业集成电路制造服务，项目达产后，预估月产能将达 5.5 万片 12 英寸晶圆。JASM 社长堀田祐一表示，“菊阳町位于九州中心地区，非常便捷，受到县和町 政府的全面支持是敲定（在此建厂）的关键。”

（资料来源：全球半导体观察）

风电设备

【政策】国家发改委：风电光伏大基地加强可靠性管理，防止大面积脱网

4 月 24 日，国家发改委官网公布《电力可靠性管理办法（暂行）》，自 6 月 1 日起施行。《办法》提出，沙漠、戈壁、荒漠地区的大规模风力、太阳能等可再生能源发电企业要建立与之适应的电力 可靠性管理体系，加强系统和设备的可靠性管理，防止大面积脱网，对电网稳定运行造成影响。

《办法》强调，发电企业应当建立发电设备分级管理制度，完善事故预警机制，构建设备标准化管 理流程。发电企业应当基于可靠性信息，建立动态优化的设备运行、检修和缺陷管理体系，定期评 估影响机组可靠性的风险因素，掌握设备状态、特性和运行规律，发挥对机组运行维护的指导作用。

（资料来源：风电之音）

【规划】福建漳州“十四五”能源发展专项规划印发：预计新增风电 2.4GW

4 月 18 日，福建省漳州市人民政府印发《漳州市“十四五”能源发展专项规划》。根据规划，预计至 2025 年，全市电力装机约 1630 万千瓦，其中风电约 291 万千瓦，新增约 240 万千瓦，占 17.8%；光伏 约 253 万千瓦，新增约 210 万千瓦，占 15.5%。

大力发展海上风电建设，闽南外海浅滩借助国家级千万千瓦级海上风电基地优势，争取在“十四五”期间实施 500 万千瓦左右的示范性工程并投产 200 万千瓦。在满足要素保障和军事条件允许的前提 下，稳妥推进漳浦六鳌海上风电二期（40 万千瓦）等近岸海上风电项目开发。

（资料来源：风电头条）

锂电设备

【亿纬锂能】总投 200 亿电池项目落地

4 月 27 日晚，亿纬锂能公告，拟与成都经开区管委会签订《项目投资合作协议》，公司或指定的下 属公司分两期投资建设年产 50GWh 动力储能电池生产基地和成都研究院，项目总投资 200 亿元。其 中一期包含 20GWh 动力储能电池生产基地和研究院一期；二期包含 30GWh 动力储能电池生产基地和 研究院二期。

同日，成都亿纬锂能有限公司成立，法定代表人为刘金成，注册资本 5000 万人民币。事实上，去年 10 月 27 日，双方就项目建设事宜已达成相关约定。产能建设端，亿纬锂能方形、软包、圆柱并行，重点推进大圆柱电池路线。公司于荆门规划 153GWh 产能，成都规划 50GWh、惠州已建成的 10GWh 软包产能，与林洋合资 20GWh 产能，以及海外生产基地，公司至 2025 年产能规划超过 300GWh。

（资料来源：起点锂电大数据）

【中创新航】200 亿江门基地以及眉山基地开工

近日，总投资达 200亿元的中创新航动力电池及储能系统江门基地项目全面动工。该项目位于江门新会 智造产业园凤山湖园区，通过“深圳国际总部+江门生产基地”模式，将建设 50GWh动力电池及储能系 统江门基地。项目计划分两期建设，着力打造高度智能化、绿色环保的生产基地。

同时，据官网报道，中创新航近日举办了眉山基地项目开工动员活动。据悉，中创新航眉山项目是眉山 首个动力电池整装项目。项目同时规划布局 20GWh动力电池及储能系统，以及 10万吨锂电正极材料。

（资料来源：起点锂电大数据）

光伏设备

【华晟新能源】华晟二期 2GW 高效异质结项目首片组件顺利下线

4 月 25 日，华晟二期 2GW 高效异质结项目首片组件顺利下线。为满足市场发展和客户需求，华晟二 期项目将主要生产异质结大尺寸半片电池和高功率组件。组件输出功率覆盖 580W-700W 区间，转换 效率最高达 22.5%，尤其适用于工商业分布式及地面电站项目；电池端采用单面微晶电池工艺结合大 产能 PECVD、PVD 技术，通过最新的自动化智能制造技术，实现全制程数据追踪与工艺自控制，在 降低银浆单耗的同时，确保量产平均效率达到 25%以上。

（资料来源：SOLARZOOM 光储亿家）

【晶科能源】投资 50 亿！晶科越南拟建 8GW 光伏电池和 8GW 组件！

4 月 23 日，晶科能源发布公告称，现根据公司战略规则，拟调整“年产 5GW 高效电池和 5GW 高效电 池组件生产线项目”为“年产 8GW 太阳能组件及 8GW 太阳能电池生产线项目”，调整总投资额 49,976.00 万美元为 79,060.66 万美元（以外汇汇率 6.35 计算约合人民币 502,035.17 万元）。

项目概况和建设内容：本项目在越南广宁省广安市泷圭工业区 04-09 号进行建设。项目计划新增用地 384,948m2（约 577 亩），拟新建生产车间、配套建筑以及其他工程，总建筑面积 396,530.16m2。同时，本项目拟新增生产设备、检测设备、公辅设备及其他设备共计 2,699 台（套），另外，新增软件系统 11 套。本项目采用数字化车间智能制造新模式，打造晶科产业链智能光伏工业 4.0 系统。项目建设 完成后，预计新增年产 8GW 电池片和组件的生产能力，电池作为组件的原材料。本项目建设期暂定 2 年。

公告显示，本次投资将加速推进海外一体化产能建设，有利于拓展公司在海外市场的份额。本项目 建成达产对提升公司的盈利能力、全球综合竞争力和品牌影响力具有重要意义，符合全体股东的利 益和公司长远发展战略。

（资料来源：光伏前沿）

风险提示

疫情影响超预期：新冠疫情仍处于全球蔓延阶段，若新冠疫情影响超预期，可能造成全球系统性风 险及行业需求不达预期风险。

政策不达预期：锂电、光伏、风电设备对政策有较高的敏感性，若政策不达预期，将显著影响细分 行业的基本面，进而降低各板块的投资价值。

半导体设备国产化进程放缓。新一轮设备采购中，因进口品牌已深切感受到来自国产设备替代进口 设备的经营压力，进口品牌可能通过降价压制国产设备扩大市场份额。

美国进一步向中国禁售关键半导体设备。由于本土晶圆厂对美国设备的依赖度接近 50%，因此一旦 美国对出口至我国的关键半导体设备进行约束，我国本土晶圆厂的建产进度将受到影响。

披露声明

本报告准确表述了证券分析师的个人观点。该证券分析师声明，本人未在公司内、外部机构兼任有损本人独立性与客 观性的其他职务，没有担任本报告评论的上市公司的董事、监事或高级管理人员；也不拥有与该上市公司有关的任何 财务权益；本报告评论的上市公司或其它第三方都没有或没有承诺向本人提供与本报告有关的任何补偿或其它利益。

中银国际证券股份有限公司同时声明，将通过公司网站披露本公司授权公众媒体及其他机构刊载或者转发证券研究报 告有关情况。如有投资者于未经授权的公众媒体看到或从其他机构获得本研究报告的，请慎重使用所获得的研究报告，以防止被误导，中银国际证券股份有限公司不对其报告理解和使用承担任何责任。

评级体系说明

以报告发布日后公司股价/行业指数涨跌幅相对同期相关市场指数的涨跌幅的表现为基准：

公司投资评级：
买入：预计该公司股价在未来 6-12 个月内超越基准指数 20%以上；
增持：预计该公司股价在未来 6-12 个月内超越基准指数 10%-20%；
中性：预计该公司股价在未来 6-12 个月内相对基准指数变动幅度在-10%-10%之间；减持：预计该公司股价在未来 6-12 个月内相对基准指数跌幅在 10%以上；
未有评级：因无法获取必要的资料或者其他原因，未能给出明确的投资评级。

行业投资评级：
强于大市：预计该行业指数在未来 6-12 个月内表现强于基准指数；
中性：预计该行业指数在未来 6-12 个月内表现基本与基准指数持平；弱于大市：预计该行业指数在未来 6-12 个月内表现弱于基准指数；
未有评级：因无法获取必要的资料或者其他原因，未能给出明确的投资评级。

沪深市场基准指数为沪深 300 指数；新三板市场基准指数为三板成指或三板做市指数；香港市场基准指数为恒生指数 或恒生中国企业指数；美股市场基准指数为纳斯达克综合指数或标普 500 指数。

中银国际证券股份有限公司不以任何方式或渠道向除上述特定客户外的公司个人客 户提供本报告。中银国际证券股份有限公司的个人客户从任何外部渠道获得本报告

及有不同结论的报告，亦有可能采取与本报告观点不同的投资策略。为免生疑问，

传真: (65) 6534 3996 / 6532 3371