评级（）半导体行业深度报告：底层国产化（3）丨28nm→14nm，国内半导体设备企业布局如何？

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报告名称 ：半导体行业深度报告：底层国产化（3）丨28nm→14nm，国内半导体设备企业布局如何？
评级 ：持有
行业：

半导体行业 行业研究类模板 报告日期：2022 年 5 月 24 日

底层国产化（3）丨 28nm→14nm，国内半导体设备企业布局如何？

──行业深度报告

报告导读

2022 年我们继续强调半导体-底层国产化主线投资观点。当前时间节点，
28nm 晶圆线国产化进程持续推进落地，设备+材料+零部件国产化率持
续提升。22Q3～Q4 我们判断有望看到 28nm 国产线初步通线后的再次
扩产及 14nm 晶圆线的初始推进。国内半导体设备/材料环节投资逻辑主 相关报告 线由—基于全球晶圆厂 Capex 景气度下的国产线+存储线的国产化率快
速提升，逐步叠加由 28nm 扩产→14nm 推进的品类拓张+制程升级逻辑。

2022 年国内半导体设备资本开支、国产化采购比率（10%→60%+）、产品矩阵（单一→平台）全方位提升，成长空间拓张的同时我们积极关 注在 28nm→14nm 具备优势布局的设备及材料厂商。

投资要点 报告撰写人：蒋高振

底层国产：设备国产化投资逻辑由 Capex 景气度下的国产线+存储线同 联系人：赵洪

步扩产→品类拓张+制程升级逐步演绎。

晶圆厂扩产+国产化率提升是国内半导体设备成长的根本逻辑，韩国 Knometa

Research 数据显示，2021 年中国大陆 IC 晶圆产能约为 350 万片/月（等效 8 英

寸），占全球总产能仅为 16%，去除中国台湾及海外企业的产能，国内晶圆厂

产能占比仅为 8%左右，而根据 WSTS 数据，2021 年中国大陆半导体市场约占

全球的 35%，供需缺口依旧较大，国内晶圆厂具备长期扩产动力；此外，我国

半导体设备国产化率仍较低，以薄膜沉积设备为例，2021 年国产化率不足 10%，

前道光刻机方面，根据国内主流晶圆厂招标数据，2021 年国产化率仍为 0。

先进制程：全球 20nm 以上制程产能占比近 55%，国内产能阶段性受限

→14nm 制程国产化有望逐步提上日程。

先进制程主要指 28nm 以上的制程节点，主要用于高性能、低功耗的应用领域，

如手机、PC、IDC 等设备的 CPU、GPU、DRAM 等产品。先进制程市场占比

较高，根据 IC Insights 预测，2021-2024 年全球 20nm 及以上节点的晶圆产能

占比将从 51.5%提升至 56.1%，呈现提升趋势，然而，受地缘政治因素影响，

中国大陆先进制程产能占比极低，与全球产能结构差异较大，若国内 14nm 产

线贯通，国内客户对先进制程节点的需求将迅速释放，并催生新的扩产计划，

届时将对先进制程设备产生广阔需求，国内半导体设备龙头企业将充分受益。

划如何？

国内先进制程扩产潜力广阔（中芯/华力/ICRD 等），根据我们对国内设备企 业产品的梳理，按制程节点来看，除了光刻机，28nm 设备在刻蚀、薄膜沉积、氧化扩散、退火、清洗、CMP、离子注入等主要制造环节布局已相对完善，而 14nm 节点覆盖度相对低，14nm 节点上，北方华创（ICP 硅刻蚀/炉管设备等）、中微公司（CCP 介质/金属刻蚀设备）、盛美上海（清洗/电镀设备等）、拓荆 科技（PECVD/ALD 设备）、华海清科（CMP 设备）等企业已有产品布局。

附表 1：国内半导体设备企业在 28nm-14nm 制程节点的量产产品梳理

重点公司

北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、万业企业（凯世通）、芯源微、华海清科（未上市）、屹唐股份（未上市）。

风险提示

疫情持续蔓延风险；下游需求不及预期风险；供应链不稳定风险。

表 1：国内企业在 28nm-14nm 制程节点的量产产品梳理（标红色为支持 14nm 产品，基于行业及公开信息梳理，或有疏漏）

资料来源：各公司公开信息，浙商证券研究所

行业深度报告

股票投资评级说明

以报告日后的 6 个月内，证券相对于沪深 300 指数的涨跌幅为标准，定义如下：1、买入：相对于沪深 300 指数表现 ＋20％以上；
2、增持：相对于沪深 300 指数表现 ＋10％～＋20％；
3、中性：相对于沪深 300 指数表现－10％～＋10％之间波动；
4、减持：相对于沪深 300 指数表现－10％以下。

行业的投资评级：

以报告日后的 6 个月内，行业指数相对于沪深 300 指数的涨跌幅为标准，定义如下：1、看好：行业指数相对于沪深 300 指数表现＋10%以上；
2、中性：行业指数相对于沪深 300 指数表现－10%～＋10%以上；
3、看淡：行业指数相对于沪深 300 指数表现－10%以下。

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者不应仅仅依靠投资评级来推断结论

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