评级（买入）国内半导体设备招投标月度数据跟踪第9期（2022年03月）：上海积塔半导体招标5台，燕东微电子招标11台

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报告名称 ：国内半导体设备招投标月度数据跟踪第9期（2022年03月）：上海积塔半导体招标5台，燕东微电子招标11台
评级 ：买入
行业：

2022 年 3 月 14 日

行业研究

上海积塔半导体招标 5 台，燕东微电子招标 11 台

——国内半导体设备招投标月度数据跟踪第 9 期（2022 年 03 月）

国内半导体设备 2 月招投标数据（仅限于已公布的数据） 国内晶圆厂商招标数据：

买入（维持）

燕东微电子：光刻机+4 台，湿法清洗+1 台，退火+2 台，后道封装+4 台； 国内设备厂商中标数据：
北方华创：湿法清洗+1 台； 中微公司：干法刻蚀+1 台；
盛美半导体：ECP+1 台； 屹唐半导体：退火+2 台；
芯源微：湿法清洗+1 台，涂胶显影+1 台；
至纯科技：湿法清洗+1 台；
半导体设备行业景气度数据：
半导体设备销售额 2021-2023 年：全球分别为 1030/1140/1134 亿美元，同比 +44.4%/+11.2%/-0.8%（SEMI 21 年 12 月预测）；中国大陆分别为 288/343/363

联系人：杨德珩
yangdh@ebscn.com

2021 年 2 月中国台湾半导体设备进口额为 22.31 亿美元，同比减少-7.93%；2021 年 12 月，北美半导体设备出货额为 39.17 亿美元，同比增长 46.10%。

半导体设备行业投资建议：建议关注上市公司包括北方华创、中微公司、至纯科 技、长川科技、华兴源创、万业企业（凯世通）、光力科技、芯源微、盛美上海、华峰测控、精测电子、晶盛机电、盛剑环境、正帆科技、ASM Pacific（H）；非 上市公司有屹唐半导体、华海清科、沈阳拓荆、上海微电子、东方晶源。

华虹半导体招标 50 台，至纯科技中标 8 台清洗 设备——国内半导体设备招投标月度数据跟踪 第 8 期（2022 年 02 月）（2022-02-20）
长川科技中标 14 台测试机和 30 台分选机，光 力科技中标 10 台划片机——国内半导体设备招 投标月度数据跟踪第 7 期（2022 年 01 月）

材、鼎龙股份、安集科技、上海新阳、江化微、南大光电、神工股份、立昂微、

沪硅产业-U、华特气体、金宏气体。

风险分析：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。

公司盈利预测与估值简表

资料来源：Wind、光大证券研究所整理；股价时间 22-03-11，带*21 年为年报或快报，其余 21-22 年为 Wind 一致预测；

1、半导体设备及材料最新观点

半导体设备及材料行业景气度与国产替代进度、晶圆厂扩张以及技术迭代息息相 关，国产替代进度和晶圆厂扩张决定着当前景气周期内对国产半导体设备及材料 的需求，而技术创新带来的技术迭代则不断驱动着半导体设备及材料的需求长周 期持续向上，国产替代是本轮半导体设备及材料景气度高企的核心驱动力。

半导体设备与新建产线关联度较高，具备周期性强、空间大等特点，半导体材料 有耗材属性，具备周期性弱、持续性好等特点。

目前大力提高中国大陆半导体设备及材料供应商的竞争力，对保障中国半导体产 业链安全具有显著的溢出效益，有助于大大降低美国等出口管制所带来的风险。因此，尽管存在巨大的进入壁垒，中国政府将继续重点支持本⼟的半导体设备及 材料行业，即使在中美关系缓和以及设备松绑的情况下，国产化大趋势不变。

2021 年很多国产半导体设备及材料实现了 0-1 的跨越，2022 年将逐步进入到 1-N 的放量过程，预计国产替代的速度将不断加快，我们持续看好半导体设备及 材料国产替代的逻辑，是未来的长周期优质赛道。

图表 1：半导体设备行业指数（申万）及沪深 300 指数

资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-03-11；

图表 3：中国台湾半导体行业指数及加权指数

资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-03-11；

图表 2：半导体设备行业市盈率（申万）

资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-03-11；

图表 4：费城半导体指数及纳斯达克综合指数

资料来源：Wind、光大证券研究所整理；时间 2012-01-01 到 2022-03-11；

1.1、全球半导体设备行业展望

根据国际半导体产业协会（SEMI）2021 年 12 月 14 日公布的《年终总半导体设 备预测报告》，预计 2021 年原始设备制造商的半导体制造设备全球销售总额将 达到 1030 亿美元的新高，比 2020 年的 712 亿美元的销售历史记录增长 44.4%，预计 2022 年全球半导体制造设备市场销售总额将扩大到 1140 亿美元，同比增 长 11.2%，到 2023 年全球半导体制造设备市场销售总额预计将略微下滑 0.8% 至 1134 亿美元。

图表 5：全球半导体设备销售额及同比增速

资料来源：SEMI 预测、Wind、光大证券研究所整理

2021 年 2 月中国台湾半导体设备进口额为 22.31 亿美元，同比减少-7.93%。

2021 年 12 月，北美半导体设备出货额为 39.17 亿美元，同比增长 46.10%。

2021 年第三季度，全球半导体设备销售额为 267.9 亿美元，同比增长 38.2%；北美半导体设备销售额为 22.9 亿美元，同比增长 67.2%；日本半导体设备销售 额为 21.1 亿美元，同比减少-5.80%；中国大陆半导体设备销售额为 72.7 亿美 元，同比增长 29.4%。

图表 6： 中国台湾半导体设备月度进口额及同比

图表 7：北美半导体设备月度出货额及同比

图表 8：全球半导体设备季度销售额及同比

图表 9：北美半导体设备季度销售额及同比

资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理

图表 10：日本半导体设备季度销售额及同比

图表 11：中国大陆半导体设备季度销售额及同比

资料来源：Wind、光大证券研究所整理 资料来源：Wind、光大证券研究所整理

2021 第四季度，五家全球重点半导体设备公司业绩表现良好：ASML 营业收入 为 57.00 亿美元，同比增长 12.3%，净利润为 18.59 亿美元，同比增长 4.3%，下同；AMAT 营业收入（62.71，+21.5%），净利润（17.53，+55.1%）；LAM 营业收入（42.27，+22.3%），净利润（11.95，+37.5%）；KLA 营业收入（23.53，+42.5%），净利润（8.51，+68.8%）；Teradyne 营业收入（8.85，+16.6%），净利润（2.28，+17.9%）。

图表 12：ASML 季度收入及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4 时间为 20211001~20211230；

图表 13：ASML 季度净利润及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4 时间为 20211001~20211230；

图表 14：AMAT 季度收入及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1 时间为 20211103~20220201；

图表 16：LAM 季度收入及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2 时间为 20210929~20211227；

图表 18：KLA 季度收入及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2 时间为 20211001~20211230；

图表 15：AMAT 季度净利润及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q1 时间为 20211103~20220201；

图表 17：LAM 季度净利润及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2 时间为 20210929~20211227，FY19Q2 增速为+5814.3%；

图表 19：KLA 季度净利润及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY22Q2 时间为 20211001~20211230；

图表 20：Teradyne 季度收入及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4 时间为 20211003~20211231；

图表 21：Teradyne 季度净利润及同比增速

资料来源：Bloomberg、光大证券研究所；注：FY21Q4 时间为 20211003~20211231，FY18Q4 增速为-235.8%；

1.2、中国大陆半导体设备行业展望

2020 年我国半导体设备销售额为 187.2 亿美元，同比增长39.2%，占全球半导 体设备市场的 26.3%，首次成为全球最大的半导体设备市场。2021 年我国半导 体设备销售额预计将达到 287.8 亿美元，同比增长 53.7%，预计 2022 年我国半 导体设备销售额有望达到 343.0 亿美元，同比增长 19.2%，到 2023 年我国半导 体设备销售额有望上涨 5.8%至 362.9 亿美元。我们预计中国大陆半导体设备销 售额全球占比有望从 2021 年的 28%提升到 2023 年的 32%，呈逐年上升的趋势。

图表 22：中国大陆半导体设备销售额及同比增速

资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测

图表 24：中国大陆半导体设备销售额全球占比测算

图表 23：中国大陆半导体设备销售额全球占比变化趋势

资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测

资料来源：Wind、光大证券研究所整理及预测

中国大陆主要晶圆厂产能持续扩张。半导体设备收入的增长与晶圆厂扩张息息相 关，晶圆厂扩产的资本支出中的 70-80%左右将用于购买半导体设备，截止 2021 年底，国内主要晶圆厂扩产计划：中芯国际总扩产计划 24 万片/月，其中中芯京 城 10 万片/月，中芯深圳 4 万片/月，中芯临港 10 万片/月；华虹半导体计划扩

产 4 万片/月；长江存储总产能规划，一期 10 万片/月，二期 20 万片/月，总产 能目标 30 万片/月；合肥长鑫 2021 年扩产 6 万片/月，2022 年有望达到 12 万 片/月，总产能目标 30 万片/月；粤芯半导体一期二期产能 4 万年/月，总产能目 标 12 万年/月。

图表 25：中国大陆主要晶圆厂扩产计划

资料来源：各公司公告、光大证券研究所整理

2022 年中国头部晶圆厂资本开支持续上行。2021-2022 年：TSMC（300/420 亿美金，同比+40%，下同），SMIC（45/50，+11.11%），XMC/YTMC（33/34，+3.03%），Huahong Group（20/25，+25%）、UMC（18/30，+66.67%），五家合计（416/559，+34.38%）。

图表 26：全球 IDM & FOUNDRY 资本开资及预测（单位：十亿美元，%）

资料来源：TechInsights、光大证券研究所整理

图表 27：中国头部晶圆厂资本开支及预测（单位：十亿美元）

资料来源：TechInsights、光大证券研究所整理

2、国内半导体设备招投标情况总览 图表 28：2022 年国内半导体设备招投标数据总览（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3、国内晶圆厂商招标情况

3.1、中芯国际（绍兴） 图表 29：2022 年中芯国际（绍兴）招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.2、华虹半导体
图表 30：2022 年华虹半导体招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.3、华力微电子

图表 31：2022 年华力微电子招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.4、上海集成电路研发中心

图表 32：2022 年上海集成电路研发中心招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.5、长江存储
图表 33：2022 年长江存储招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.6、上海积塔半导体 图表 34：2022 年上海积塔半导体招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.7、华润微

图表 35：2022 年华润微招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.8、浙江创芯集成

图表 36：2022 年浙江创芯集成招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.9、上海新微

图表 37：2022 年上海新微招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.10、上海芯物科技

图表 38：2022 年上海芯物科技招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.11、上海新硅聚合

图表 39：2022 年上海新硅聚合招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.12、比亚迪半导体 图表 40：2022 年比亚迪半导体招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.13、福建晋华
图表 41：2022 年福建晋华招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

3.14、燕东微电子科技 图表 42：2022 年 燕东微电子科技招标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4、国内设备厂商中标情况

4.1、北方华创
图表 43：2022 年北方华创中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.2、中微公司
图表 44：2022 年中微公司中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.3、华峰测控
图表 45：2022 年华峰测控中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.4、芯源微
图表 46：2022 年芯源微中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.5、盛美半导体

图表 47：2022 年盛美半导体中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.6、沈阳拓荆

图表 48：2022 年沈阳拓荆中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.7、上海微电子

图表 49：2022 年上海微电子中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.8、华海清科

图表 50：2022 年华海清科中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.9、屹唐半导体

图表 51：2022 年屹唐半导体中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.10、中国电子科技集团

图表 52：2022 年中国电子科技集团中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.11、上海精测半导体

图表 53：2022 年上海精测半导体中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.12、深圳中科飞测

图表 54：2022 年深圳中科飞测中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.13、至纯科技

图表 55：2022 年至纯科技中标数据（单位：台）

资料来源：chinabidding、光大证券研究所整理

4.14、长川科技

图表 56：2022 年长川科技中标数据（单位：台）